解説: ICP質量分析装置(ICP-MS)の原理と応用例 1. はじめに ICP質量分析装置(高周波誘導結合質量分析装置、以下ICP-MS)は1980年はじめにHouk、Grayらによって発表されその数年後の1983年に製品化されて以来、約20年経過しており、現在様々な業界で幅広く普及されている。特に半導体業界での利用は多く...
ICP発光分光分析(ICP-OES/ICP-AES)とICP質量分析(ICP-MS)の技術原理をわかりやすく解説しています。