KLA/TENCOR/ICOS CI-T120 Mask&Wafer Inspection Equipment是一种先进的成像和检查系统,旨在查明各种表面的亚微米缺陷。它具有高分辨率的图像传感器和优化的光学元件,使其成为研究和生产的绝佳工具。
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