在晶圆厂中,i6R-210产品可应用于黄光区,在曝光前后进行掩模质量控制。相对于传统的掩模版表面颗粒检测方式,i6R-210产品可以检出的缺陷类型更加全面可靠,有助于避免因某些特殊缺陷污染物的漏检而导致大批量的晶圆报废。此外,i6R-210...
近日,御微半导体首台i6R-210掩模全景质量管理产品成功发运,并顺利交付国内先进掩模版生产厂。本次发运的i6R-210是御微首次推出的一款集缺陷检测、双面清洁以及倒版功能于一身的掩模全景质量管理设备。 i6R-210产品作为御微i6R产品线的第三代产品,继承了前两代产品高产率、高精度明暗场检测系统以及操作便捷等特点...
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