正答:HSQ是电子束胶,但也可以紫外曝光;但HSQ精度在5纳米左右,用紫外曝光是浪费了。
正答:HSQ是电子束胶,但也可以紫外曝光;但HSQ精度在5纳米左右,用紫外曝光是浪费了。如有疑问,请追问。
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电子束光刻胶 SU-8 GM1010/HSQ/XR-1541-002/004/006/HSQ Fox-15/16系列 西安齐岳生物供应的产品包括:合成磷脂、PEG衍生物,嵌段共聚物、磁性纳米颗粒、纳米金及纳米金棒、近红外荧光染料、活性荧光染料、荧光标记的葡聚糖BSA和链霉亲和素、蛋白交联剂、小分子PEG衍生物、点
电子束光刻胶 XR-1541-006 E-BEAM RESIST NEGATIVE TONE HSQ E-BEAM RESIST CBNumber: CB512401155 分子式: 分子量: 0 MOL File: Mol file 化学性质安全信息用途供应商1 电子束光刻胶 XR-1541-006 E-BEAM RESIST NEGATIVE TONE HSQ E-BEAM RESIST化学性质 ...
基于电子束曝光HSQ的晶圆级线宽标准片及制备方法,包括以下步骤:首先,采用单面抛光的硅晶圆作为衬底材料;其次,通过旋涂方式在步骤S1得到的衬底材料上涂覆HSQ光刻胶;再次,根据预设的不同特征尺寸的线宽和循迹标记图形,通过电子束光刻机对HSQ光刻胶进行电子束曝光;最后,通过显影和定影工序,将HSQ光刻胶定义在硅晶圆上,...
正负性电子束光刻胶(PMMA/SU-8 GM1010/HSQ/XR-1541-002/004/006/HSQ Fox-15/16) 常用光刻胶可分为彩色及黑色光刻胶、LCD触摸屏用光刻胶、TFT-LCD正性光刻胶 在平板显示行业;主要使用的光刻胶有彩色及黑色光刻胶、LCD触摸屏用光刻胶、TFT-LCD正性光刻胶等。在光刻和蚀刻生产环节中,光刻胶涂覆于晶体...
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