当气体管路被一个大型机组所分隔开,比如金属有机气相 沉积(MOCVD)或者液晶溅射化学气相沉积,同时又被质量 流量控制器所控制时,该管路气体流量值的突然改变就会 影响到其他管路。然而,即便在上述情形下,UR 系列的产 品仍可以快速、精确的调整管道中的气体压力,实现稳定 控制,并且保证多个质量流量控制器之间互不干扰。
日本HORIBA堀场UR-Z700数显自动压力调节器 日本HORIBA堀场UR-Z700数显自动压力调节器 采用全金属结构(气体接触部分)和无死体积结构,可对腐蚀性气体和低蒸气压气体进行稳定的压力控制。它可以使用外部信号进行远程控制,非常适合安装在需要全面气体控制的系统中,例如需要全面性能评估和耐压评估系统的气体传感器。
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我们提供的压力控制器采用了数字式高性能压力传感器与压电陶瓷阀门,主要运用包括:晶圆冷却系统中控制氦气压力以降低热损害,气体管路中控制后端管道压力以保障流量计稳定工作,反应源液罐体后端控压以罐内压力稳定在范围。这些器件的研发及使用都致力于提高制程工艺中的良品率。 常见的压力控制器UR-Z700系列 HoribaZ700...
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10年 ￥9000.0成交0笔 无锡市 HORIBASTECSF-1U SF-2U VP-1 VP-2电子式皂膜流量计 复购率: 9年 ￥1.8万成交0笔 济南市 【堀场】日本HORIBASTECSEC-E40 100SCCM气体质量流量计议价 复购率: 5年 ￥5.2万成交0笔 深圳市 HORIBASTECSEC-E60 气体 质量流量计氢气 Ar H2现货实拍 议价 ...
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