发货地 上海 商品类型 仪器仪表 、 环境检测仪器 、 气体检测仪器 商品关键词 IR、 400气体浓度计、 IR、 422、 IR、 432、 IR、 437、 气体浓度计 商品图片 商品参数 品牌: HORIBA 是否支持加工定制: 是 是否进口: 是 安装方式: 任意 测定时间: 任意 工作电压: 300Kpa 适用介质:...
进口供应HORIBA堀场气体监测仪IR-400随着半导体制造薄膜沉积工艺中微细加工的进步,处理后保持腔室清洁对于提高生产率变得非常重要。 IR-400系列是用于薄膜沉积工艺的腔室清洁终点检测监视器,可实时监测废气成分(SiF4、CF4)。通过优化干洗终点检测、减少清洁气体消耗和时间以及减少室损坏,有助于延长零件的使用寿命。 产品...
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