晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F又称压力自动调节阀, 用于半导体晶圆生产中晶圆背面的微小压力控制,实现冷却系统的冷却功能,减少晶圆的热损伤。 晶圆背部压力控制器Horiba GR-511F是压力控制器GR500F系列中的热门型号,是压力自动调节阀GR-312F的升级产品,稳定性更好,满足晶圆生产中更严格的工艺要求。 晶圆背部
对氦气和氩气等导热气体进行稳定且高精度的压力控制,这对于控制晶圆背面的温度至关重要。配备高速、高分辨率压电阀和质量流量传感器,不仅可以精确稳定地进行微小压力控制,还可以进行流量测量。 业务部门:半导体 产品类别:流体控制 制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd. 通过使用经过验证的电容式压力传感器,可以在低压下进行精...
GR-511F Wafer Back Side Cooling System Verwandte Produkte nach Messobjekt EC-5000 Series Exhaust Pressure Controller PTFM-1000V2 Pitot Tube Exhaust Flow Meter PV Series Piezo Actuator Valve UR-Z700 Series Digital Automatic Pressure Regulator
for gasdigitalanalog thermal mass flow meter SEC-Z700S series thermal mass flow controller SEC-N100 series thermal mass flow controllerSEC-8000F/D/E series for gasdigital electric valve actuator PV series piezolinearmembrane thermal mass flow controller ...
适用行业 LU-A1000 LV-F LF-F MI-1000 GR-511F GR-300 QL 输送介质 CS-100 HE-960LF气体压力调节器热质量流量分歧器阀门 稳定度 100 用途范围 EC-5000 PV-1000 SEC-Z700X MV-2000 LSC VC-1420 LE 月产量 10000 制造商 HORIBA STEC 种类 探测系统汽车工业测量系统位置测量系统电阻率测量仪器 ...
晶圆背面压力控制系统GR-511F 日本进口horiba 小川工业设备深圳有限公司 2年 查看详情 ￥3650.00/个 山东青岛 6151-100B堀场PH电极日本HORIBA 测试仪废水PH计探头 青岛澳海源国际贸易有限公司 5年 查看详情 ￥2万 ~ 6万 【官方】-azbil阿自倍尔山武-日本的百年自动化品牌 厂家直销 多场景 阿自倍尔自控工程...
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