1,HMDS是气相涂布在硅片表面,也就是硅片在HMDS的蒸汽中放置一会儿,温度约100-180度即可2,HMDS处理后需要冷却后涂胶,但等待时间不能太长,过长处理效果会变差,建议4小时内完成涂胶3,HMDS上面涂胶不影响HMDS的处理效果4,HMDS本身是表面改性,HMDS本身不会涂在园片表面,因此不用担心去除HMDS层主意:HMDS有生殖毒性,使用...
1, HMDS是气相涂布在硅片表面，也就是硅片在HMDS的蒸汽中放置一会儿，温度约100-180度即可 2，HMDS处理后需要冷却后涂胶，但等待时间不能太长，过长处理效果会变差，建议4小时内完成涂胶 3，HMDS上面涂胶不影响HMDS的处理效果 4，HMDS本身是表面改性，HMDS本身不会涂在园片表面，因此不用担心去除HMDS层...