溶剂清洗:可以使用有机溶剂溶剂(如异丙醇)来清洗晶圆,以去除多余的HMDS,但这种方法并不能完全除去HMDS,TARC,可能有少量的残留。 等离子清洗:在一些工序前后,使用氧离子体清洗步骤来去除晶圆上的有机残留物,包括HMDS,TARC。这种清洗方法可以将很薄的HMDS,TARC涂层完全清洗干净。 怎么检测晶圆表面是否清洗干净? 红外...
要清除HMDS和TARC，可以采用以下方法：溶剂清洗：使用有机溶剂（例如异丙醇）来清洗晶圆，以去除多余的HMDS。但请注意，这种方法可能无法完全清除HMDS和TARC，可能会有少量残留。等离子清洗：在某些工序前后，可以利用氧离子体清洗步骤来去除晶圆上的有机残留物，包括HMDS和TARC。这种方法能够有效地清除薄层的HMDS和TARC...
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可以使用有机溶剂溶剂(如异丙醇)来清洗晶圆,以去除多余的HMDS,但这种方法并不能完全除去HMDS,TARC,可能有少量的残留。 等离子清洗 在一些工序前后,使用氧离子体清洗步骤来去除晶圆上的有机残留物,包括HMDS,TARC。这种清洗方法可以将很薄的HMDS,TARC涂层完全清洗干净。
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