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S-4800高分辨冷场发射扫描电子显微镜 日立S4800扫描电子显微镜采用大样品室的半内透镜设计,却能达到超高分辨率,可以与内透镜UHR扫描电镜相媲美。 特点: 1. 新型物镜采用专利的ExB设计。使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯 二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。
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