日本堀场HORIBA 碳传感器低浓度电导率仪 HE-480C-GC总览 随着器件的发展,在半导体制造过程中用于湿法工艺的化学药品的数量趋于增加。HE-480C-GC通过使用具有高耐化学性的传感器来测量化学溶液的电导率,非常适合控制过程中的浓度,管理化学溶液的稀释度以及监控超纯水的再循环。
HORIBA堀厂HE-480C-GC 碳传感器电导率计（低浓度型）HE-480C-GC 碳传感器电导率计（低浓度型）与现有系统相比，传感器的长度缩短 50%，得以降低空间需求。同时，测量范围扩大十倍，系统能够测量相对较高浓度的样品。两种不同类型的耐化学性碳玻璃电极传感器可选，使该系统成为化学药液稀释/回收管理和纯水循环的理想...
HE-960LF / FS-09F-1/2 是最适合采用耐化学药品性高的扁平碳传感器的浆料浓度管理的导电率计。 通过维持适当的导电率值,保持浆料的稀释程度一定,为晶片研磨工序的稳定化做出贡献。 特征 高稳定性 测量范围为0～2,000μS/cm和0～10,000μS/cm,重复性分别为±0.5%F/S和±1.0%F/S,具有高稳定性。 规格 ...
HORIBA堀场电导率仪HE-480C-GC总览随着器件的发展,在半导体制造工艺的湿法工艺中使用的化学物质类型趋于越来越多。 HE-480C-GC使用具有高耐化学性的传感器来测量化学物质的电导率,是处理过程中的浓度控制,化学物质稀释控制和超纯水循环监控的理想选择。特征优异的耐化学性和耐压性能通过采用具有高耐压和高耐化学性的特殊...