2.3.1.4小结 PBO2CD残留物的显影时间为65s; PBO2锯街残留物的显影时间为80s; THK项目中PBO2照片工艺窗口为80s-92s,CD则为65-93s。 2.3.2 Q-time时间研究 Q-time由上一步流程到下一步流程跟踪过程的等待时间,工艺上指的就是不同工艺步骤之间所需的时间,在集成电路领域是及其重要的技术参数。为了探索hb882...