XPS的基本原理是光电效应,即应用X射线入射到材料表面,并探测和分析由此产生的光电子的能量和数量分布,以此反映材料从表面到一定深度内的信息,由于X射线波长很小(相对于原子来说)且穿透性较强,该技术对表面几乎没有损伤,即所谓的“无损探测”(绝对的无损检测当然不可能实现,任何表征手段都离不开和样品的相互作用)。
在应用中,FRR更多的会使用在俄歇分析中,而FAT则是会应用在XPS,原因完全是因为两种不同分析技术的原理,俄歇很多时候应用在纳米等级的分析(因此需要使用低电流获得小束斑,而低电流会使讯号偏低),而且本身俄歇在原理中,俄歇峰相对起来峰宽度就很大,因此FRR模式更适合用在俄歇分析的。就XPS来说,在光电效应下光电子的产...