圆形样本直径可以测量至具有±0.1%的精度,但是输入作为平方值。将这些误差合并,电极之间真空静电容可以测量至具有±0.5%的精度。与电极之间静电容不同的是,采用测微计电极进行测量的带接触式电极的样本不需要进行修正,假如样本直径足够小于测微计电极直径的话。当两终端样本以任何其它方式进行测量时,边缘电容计算和接地...