1。 基本的通讯层：SECS/GEM也称为GEM200E4 SECS I（SPECIFICATION FOR SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONSSTANDARD 1 MESSAGE TRANSFER）E37 HSMS （SPECIFICATION FOR HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES）E5 SPECIFICATION FOR SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONSSTANDARD 2 MESSAGE CONTENTE30 GEM SPECIFICATION FOR THE GENERIC MODE...
GEM300 是一组“标准”,通常称为“SEMI 300mm 标准”(SEMI E39、SEMI E40、SEMI E87、SEMI E90 和 SEMI E94)。它提供了一种更为复杂和标准化的方法,工厂主机可使用该方法进行控制和材料处理。 GEM300 建立在 SECS/GEM 标准之上,如下图所示: GEM300标准 转载国外:Insphere Technology Blog...
2本规范旨在增强SEMI E23中定义的并行I/O接口的能力，以支持载波传输的可靠性和效率的提高。增强的能力...
金南瓜GEM300基于GEM200基础之上，增加了对300mm制程场景的支持。GEM200的设备无需做任何修改基础，只需增加GEM300的处理，完美SEMI E30、E39、E40、E87、E90、E94等多项标准，内部集成管理Carrier、Substrate、Control Job、Process Job等对象。金南瓜采用先进的C/S技术，而非ActiveX，完美的将设备软件和GEM300分割开...
SECS（SEMI Equipment Communications Standard）是半导体设备之间进行通信的标准协议。而SECS GEM（Generic ...
近年来，随着半导体产业的蓬勃发展，GEM300标准在中国的半导体行业中的重要性逐渐凸显。GEM300作为SEMI标准中的一项，是应用于300毫米晶圆半导体制造工艺所需的标准规范。这一标准对于投入到300mm晶圆半导体制造工序中的设备来说，是必要的标准化规范。在中国的半导体制造工序中，300mm晶圆制程的比例持续上升，从而对遵循...
随着中美贸易问题,中国半导体被卡脖子进而得到再次蓬勃发展,半导体通讯标准SECS/GEM及GEM300标准的重要性越来越显现出来。 SECS/GEM和GEM300作为SEMI标准的一部分,分别是针对200毫米和300毫米晶圆制造的标准规范。特别是GEM300这标准协议,涉及到自动化加工,是FAB厂必不可少的东西。
SEMI设备通信标准第2部分(SECS-II)定义了智能设备和主机之间交换的消息的解释细节。本规范是与日本电子工业发展协会设备通信委员会合作制定的。 本标准的目的是与SEMI E4设备通信标准(SECS-I)完全兼容。它的目的也是允许与可选的消息传输协议兼容。其中包含消息传输协议要求的详细信息。
GEM300是SEMI标准的全能名称,可满足300 mm自动化要求。这些包括处理和计量工具的自动过程控制的软件和硬件要求,包括与AGV,PGV和RGV(自动,个人和轨道引导车辆)和OHT(架空起重运输)的接口。GEM300为工厂主机提供一致的界面,而符合SEMI 标准的人机交互使GEM300功能可供用户使用。广州金南瓜科技的GEM300实施和操作细节将...
SECS / GEM&GEM300是一套用于半导体设备和工厂主机的通信协议。这些标准由SEMI维护。虽然GEM300指的是一套300mm晶圆的通信标准,远远超过200mm晶圆的通信标准,但SECS / GEM被用作200和300mm通信协议以及其他自动化标准的通用术语。 EIGEMEquipment是eInnoSys的SECS / GEM软件,它支持200mm开箱即用的大多数SECS消息。