2。 GEM300(300mm):复杂和应用更高级的场景E40 (PROCESSING MANAGEMENT)E84 (ENHANCED CARRIER HANDOFF PARALLEL I/O INTERFACE)E87 (CARRIER MANAGEMENT (CMS))E90(SUBSTRATE TRACKING)E94(CONTROL JOB MANAGEMENT)E116(EQUIPMENT PERFORMANCE TRACKING)E157(MODULE PROCESS TRACKING)3。Interface A(EDA): ...
GEM(Generic Equipment Model)定义了Fab中各个场景下设备行为及其所使用SECS消息。 GEM300也称为300mm标准,FAB是12寸设备的处理作业规范。主要包含协议E39、E40、E84、E87、E90、E94、E116。 稳定可靠的SECS/GEM和GEM300就用广州金南瓜 为什么出现GEM300 1. 人工搬运Carrier(FOUP)愈发不靠谱。 一盒Carrier(FOUP)就...
金南瓜GEM300基于GEM200基础之上,增加了对300mm制程场景的支持。GEM200的设备无需做任何修改基础,只需增加GEM300的处理,完美SEMI E30、E39、E40、E87、E90、E94等多项标准,内部集成管理Carrier、Substrate、Control Job、Process Job等对象。金南瓜采用先进的C/S技术,而非ActiveX,完美的将设备软件和GEM300分割开...
金南瓜GEM300基于GEM200基础之上,增加了对300mm制程场景的支持。GEM200的设备无需做任何修改基础,只需增加GEM300的处理,完美SEMI E30、E39、E40、E87、E90、E94等多项标准,内部集成管理Carrier、Substrate、Control Job、Process Job等对象。 金南瓜采用先进的C/S技术,而非ActiveX,完美的将设备软件和GEM300分割开,...
SECS/GEM协议通讯(七):GEM300mm是什么 GEM300介绍GEM300支持E5、E30、E37、E40协议、E87、E90、E94、E116等标准。GEM300满足APC、FDC和EAP的高性能要求,运行稳定。设备与EAP系统无缝对接,从OHT吊车卸料到生产过程,顺畅自然。我们瞄准的是毫秒级的交互,而不是友商可以使用的执行态度。满足FDC的高指标要求,对...
GEM300也称为300mm标准,FAB是12寸设备的处理作业规范。主要包含协议E39、E40、E84、E87、E90、E94、E116。 稳定可靠的SECS/GEM和GEM300就用广州金南瓜 为什么出现GEM300 1. 人工搬运Carrier(FOUP)愈发不靠谱。 一盒Carrier(FOUP)就有25片wafer,整个料盒足足有十几二十斤。
GEM300协议包含:E4、E5、E30、E37、E39、E40、E87、E90、E94、E116等 金南瓜为中国半导体发展,殚精竭虑为国产半导体设备以及设备改造提供成熟稳定的软件。PLC SECS能够将各种PLC 、Modbus 、Opc、Ethernet\IP等终端进行交互,将终端设备、触摸屏或传感器数据转换成SECS/GEM或写入。SECS/GEM SDK支持C、C++、C#、...
GEM300 是一组“标准”,通常称为“SEMI 300mm 标准”(SEMI E39、SEMI E40、SEMI E87、SEMI E90 和 SEMI E94)。它提供了一种更为复杂和标准化的方法,工厂主机可使用该方法进行控制和材料处理。 GEM300 建立在 SECS/GEM 标准之上,如下图所示: GEM300标准 ...
SECS/GEM300协议是半导体设备通讯标准和设备行为定义,GEM300特别针对12寸(300mm)晶圆设备处理作业规范,包含协议E39、E40、E84、E87、E90、E94、E116等。在生产过程中,人工搬运载体(FOUP)变得越来越不可靠,一盒FOUP能容纳25片wafer,重量达到十几二十斤。人工搬运wafer时,每片价格一般数万人民币,...
金南瓜SECS/GEM300支持协议E40、E87、E90、E94、E116,但我们不仅限于这些标准。 这些标准的实施增加了SECS/GEM接口的复杂性,这意味着在开发,测试,文档化和支持工作系统方面需要更多的时间和费用。 金南瓜已经提供基础的SECS/GEM支持,在金南瓜科技的引导下进而轻松实施300mm,并且由于其复杂性,不专业的提供商的产品无...