GaN基垂直结构LED的n型电极结构设计及芯片制备 摘要 首先利用电流路径模型分析n型电极尺寸及间距等对垂直结构发光二极管( VS-LEDs)电流分布均匀性的影响,依此设计出一种螺旋状环形结构电极。其次,通过建立有限元分析软件Comsol仿真模型模拟VS-LEDs有源层的电流密度分布,发现螺旋状环形结构电极的环间距越小,电流密度分...