4. 大気圧プラズマプロセスをベースとした単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦化·平滑化(第5報)-XPSとFTIR-ATR法を用いた表面終端構造の解析による平滑化モデルの提唱 [C] . 山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明, 精密工学会大会学術講演会 . 2015 机译:基于大气压等离子体工艺...