ZETA订货市场FSI近期已经收到对其300-mm ZETA喷雾式清洗系统的继续订货.一家位于台湾地区的先进集成电路制造商将再次采购这套系统用于90nm技术节点的前段(FEOL)表面处理.另外一家 主流的微处理器制造商继续定购的ZETA系统将用于后道应用.该系统所展示的性能能够满足客户对工艺性能的急迫要求,它与单晶圆湿法清洗系统...
ZETA G3平台专为300毫米批量喷雾前段(FEOL)和后段(BEOL)清洗工艺而设计,并经过了90nm、65nm和45nm技术节点上的验证。 ZETA系统采用了带超灵活化学试剂传送技术的离心喷雾方案,可以按照所需的成分和温度来制备直接分发在晶圆之上的化学品。ZETA系统被证实具有广泛的应用范围,包括自对准金属氧化物结构中钴和镍刻蚀、光...
ZETA G3平台专为300毫米批量喷雾前段(FEOL)和后段(BEOL)清洗工艺而设计,并经过了90nm、65nm和45nm技术节点上的验证。 ZETA系统采用了带超灵活化学试剂传送技术的离心喷雾方案,可以按照所需的成分和温度来制备直接分发在晶圆之上的化学品。ZETA系统被证实具有广泛的应用范围,包括自对准金属氧化物结构中钴和镍刻蚀、光...
FSI国际有限公司最近宣布,已经收到对其300-mmZETA喷雾式清洗系统的继续订货.一家位于台湾的先进集成电路制造商将再次采购的这套系统用于90nm技术节点的前段(FEOL)表面处理.另外一家主流的微处理器制造商继续定购的ZETA系统将用于后道应用. 关键词: FSI国际有限公司;ZETA喷雾式清洗系统;晶圆尺寸;售价;半导体生产领域 ...
material loss; Improvement made by the company to its Antares CryoKinetic Cleaning Technology; Aim of the company for enhancing its Zeta Spray Cleaning System; Launch of MegaLens Acoustic Diffuser used for its Magellan Immersion Cleaning ... - 《Electronic News》 被引量: 0发表: 2005年 FSI国际...
FSI国际有限公司ZETA喷雾式清洗系统晶圆尺寸售价半导体生产领域FSI国际有限公司最近宣布,已经收到对其300-mmZETA喷雾式清洗系统的继续订货.一家位于台湾的先进集成电路制造商将再次采购的这套系统用于90nm技术节点的前段(FEOL)表面处理.另外一家主流的微处理器制造商继续定购的ZETA系统将用于后道应用.VIP集成电路应用...
验证全球领先的微电子制造表面处理设备供应商FSI国际有限公司近日宣布其带有ViPR"技术的ZETA喷雾式清洗系统现已提供200mm晶圆工艺,并且已有一家亚洲客户将该项技术成功应用干200mm制造之中.FSI的ViPR技术起初为300mm高级技术推出,该项技术凭借一步湿法工艺成功剥离高注入光刻胶的能力,破许多300mm晶圆厂采用.本刊通讯员...
Reports on FSI International Incorporated's installation of its 300 millimeter Zeta surface conditioning system at Semiconductor Equipment Leading Edge Technologies Inc. in Yokohama, Japan. Remarks from Dale A. Courtney, president of the Surface Conditioning divisio...
Reports on FSI International Incorporated's installation of its 300 millimeter Zeta surface conditioning system at Semiconductor Equipment Leading Edge Technologies Inc. in Yokohama, Japan. Remarks from Dale A. Courtney, president of the Surface Conditioning division of FSI; Rumor about a company which...
FSI国际公司日前宣布,在今年第二个季度,公司从领先的半导体制造商那里获得了多个Φ200 mm和Φ300mm ZETA喷雾清洗系统订单.这些订单来自美国,欧洲,亚太和日本的新老客户,这些客户中有一些是世界领先的芯片制造商,还有一家是世界最大的芯片封装厂之一.ZETA系统的订单使FSI第二季度的表面处理产品订单数量比前一季度增长...