可实现10nm分辨率定位的闭环控制平台。 在平台中央位置内置了本公司开发的光栅尺位置检测系统。 读取该光栅尺的位置信息实现高分辨率的闭环控制、重复定位精度(位置再现性),以及位置的保持精度。 备有5个不同行程规格(20,50,100,150,200mm)的产品。此系列平台的行程大,所以,非常适用于大范围内的数据测量,或高精密...
FS-1020PX 单价: 价格和库存数量请咨询客服 购买数量: 库存量:1 产品详情 类型:位移台品牌:Sigma JPY:350000(由于日元汇率一直变动,所有日本sigma光机的相关产品,价格填写为零,具体价格需要和客服咨询) 可实现10nm分辨率定位的闭环控制平台。 在平台中央位置内置了本公司开发的光栅尺位置检测系统。