来自 掌桥科研 喜欢 0 阅读量: 13 作者: 夏钟福 摘要: 由于和IC工艺及微机械加工技术兼容,硅基二氧化硅(SiO<,2>)和氮化硅(Si<,3>N<,4>)薄膜是驻机体微型传感器领域中十分新颖的无机驻极体材料. 关键词: 驻极体 收藏 引用 批量引用 报错 分享 ...