1. 测试原理 在硅片等基板上附膜时,由于基板和薄膜的物理定数有异,产生应力,进而引起基板变形。由涂抹均匀的薄膜引起的变形的表现为基板的翘曲,而薄膜应力测量设备FLX-2320-S可从这个翘曲(曲率半径)的变化量测量其应力。 2.设备图片 3.设备特点 (1)双光源扫描(可见光激光源及不可见光激光源),系统可自动选择zui...
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型号:FLX2320s 类型:薄膜应力计 加工定制:是 供应商信息 盛伟 地址: 中国 上海 东方路800号宝安大厦1301室 公司主页://scientech.cn.makepolo.com 查看更多 新耕(上海)贸易有限公司 进入公司首页 成立时间: 辛耘于1979 年成立于台湾台北。2001年在上海成立 新耕(上海)贸易有限公司 营业项目: 辛耘提供的产品项目...
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◆ 其他型号:FLX-3300 (适用于12”样片) 技术参数: Toho FLX-2320-S薄膜应力计精确测量多种衬底材料、金属和电介质等薄膜应力。 主要特点: ◆双光源扫描(可见光激光源及不可见光激光源),系统可自动选择**匹配之激光源; ◆系统内置升温、降温模拟系统,便于量测不同温度下薄膜的应力,温度调节范围为-65℃至500...
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