1. 测试原理 在硅片等基板上附膜时,由于基板和薄膜的物理定数有异,产生应力,进而引起基板变形。由涂抹均匀的薄膜引起的变形的表现为基板的翘曲,而薄膜应力测量设备FLX-2320-S可从这个翘曲(曲率半径)的变化量测量其应力。 2.设备图片 3.设备特点 (1)双光源扫描(可见光激光源及不可见光激光源),系统可自动选择zui...
品牌/型号:Toho/FLX-2320-S 型号:FLX-2320-S 品牌:Toho 加工定制:否 供应商信息 公司地址中国(上海)自由贸易试验区华申路180号1幢七层726室统一社会信用代码91310115735403361P 组织机构代码73540336-1注册资本500万美元 营业期限34032-09-19至无固定期限经营状态存续 ...
新耕(上海)贸易有限公司 仪器种类:型号:FLX-2320-S薄膜应力计联系电话:400-6699-117 转 7203详细参数和报价 申请演示 询价 产品简介 仪器简介: 应用: ◆各种材质及薄膜应力分析。 ◆ 其他型号:FLX-3300 (适用于12”样片) 技术参数: Toho FLX-2320-S薄膜应力计精确测量多种衬底材料、金属和电介质等薄膜应力。
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<BR><BR>◆ 其他型号:FLX-3300 (适用于12”样片)</P><BR><BR><B>技术参数:</B><BR> <P>Toho FLX-2320-S薄膜应力计精确测量多种衬底材料、金属和电介质等薄膜应力。</P><BR><BR><B>主要特点:</B><BR> <P>◆双光源扫描(可见光激光源及不可见光激光源),系统可自动选择最佳匹配之激光源; <...
在硅片等基板上附膜时,由于基板和薄膜的物理定数有异,产生应力,进而引起基板变形。由涂抹均匀的薄膜引起的变形的表现为基板的翘曲,而薄膜应力测量设备FLX-2320-S可从这个翘曲(曲率半径)的变化量测量其应力。 设备图片 设备特点 (1)双光源扫描(可见光激光源及不可见光激光源),系统可自动选择zui佳匹配之激光源; ...
型号:FLX2320s 类型:薄膜应力计 加工定制:是 供应商信息 公司地址中国(上海)自由贸易试验区华申路180号1幢七层726室统一社会信用代码91310115735403361P 组织机构代码73540336-1注册资本500万美元 营业期限34032-09-19至无固定期限经营状态存续 公司类型有限责任公司(外国法人独资)成立日期2002-01-24 ...
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Toho_FLX_UserManual(应力计) 热度: Exhibition-of-Master-Wan-Ko-Yee's-Amazing-Achievement-in-the-Form-of-World-Class-Treasures 热度: Electrical-Temperature-Measurement-With-Thermocouples-and-Resistance-Thermometers and head 热度: TOHOFLX-2320-STEMPERATURE ...
◆ 其他型号:FLX-3300 (适用于12”样片) 技术参数: Toho FLX-2320-S薄膜应力计精确测量多种衬底材料、金属和电介质等薄膜应力。 主要特点: ◆双光源扫描(可见光激光源及不可见光激光源),系统可自动选择**匹配之激光源; ◆系统内置升温、降温模拟系统,便于量测不同温度下薄膜的应力,温度调节范围为-65℃至500...