1. 测试原理 在硅片等基板上附膜时,由于基板和薄膜的物理定数有异,产生应力,进而引起基板变形。由涂抹均匀的薄膜引起的变形的表现为基板的翘曲,而薄膜应力测量设备FLX-2320-S可从这个翘曲(曲率半径)的变化量测量其应力。 2.设备图片 3.设备特点 (1)双光源扫描(可见光激光源及不可见光激光源),系统可自动选择zui...
1、encorFLX 2320 Stress Measureme nt System操作手冊A. 開機1.打開FLX-2320主機電源。(壓下Power-On鍵)2. 打開電腦電源,系統會自行進入 WIN3,1 請執行 Tencor FLX 群組下之WINFLX既可進入主操作畫面。B. 關機1.離開主操作軟體(Measure Exit ),跳出 WIN31至DOST,關閉電腦電源。2.關閉 FLX-2320 電源(壓...
Toho FLX-2320-S薄膜应力计-薄膜应力计算公式 新耕(上海)贸易有限公司 仪器种类:型号:FLX-2320-S薄膜应力计 详细参数和报价申请演示询 价 产品简介 仪器简介: 应用: ◆各种材质及薄膜应力分析。 ◆ 其他型号:FLX-3300 (适用于12”样片) 技术参数:
Toho FLX-2320-S薄膜应力计,薄膜应力测试,薄膜应力测量设备 价格:120000.00元更多产品优惠价> 最小采购量:1 主营产品:薄膜应力测试仪器,甩干机,椭偏仪,膜厚测量,旋涂机,KLA-Tencor,candela,半导体二手设备,二手光刻机,二手减薄机,激光划片机,Flx2320,oem甩干机,蚀刻,半导体设备代理,光学表面测量仪器,OEM硅片甩干...
1、KUCjencorFLX 2320 Stress Measurement System操作手册A. IO1 .打 FLX-2320主械雷源。(屋下Power-On筵)2 .打月面重源,系统曾自行迤入 WIN31行Tencor FLX群 下之WINFLX,既可迤入主操作重面。B. MS1 .高隹主操作软H ( Measure Exit ),跳出 WIN31 至 DOST, 源。2 . 80 FLX-2320 雷源(屋下 Pow...
flx2320薄膜应力仪 更新时间:2024年12月13日 综合排序 人气排序 价格 - 确定 所有地区 实力供应商 已核验企业 在线交易 安心购 查看详情 ￥13.00万/台 江苏苏州 速普仪器薄膜应力仪FST 镀层残余应力测试 应力mapping分布 在线交易 速普品牌 赋宸芯科技(苏州)有限公司 1年 查看详情 ￥13.00万/套 江苏苏州 ...
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在硅片等基板上附膜时,由于基板和薄膜的物理定数有异,产生应力,进而引起基板变形。由涂抹均匀的薄膜引起的变形的表现为基板的翘曲,而薄膜应力测量设备FLX-2320-S可从这个翘曲(曲率半径)的变化量测量其应力。 设备图片 设备特点 (1)双光源扫描(可见光激光源及不可见光激光源),系统可自动选择zui佳匹配之激光源; ...
1 FLX 2320 Stress Measurement System Operation Manual A. 开机 1. 打开FLX-2320 主机电源。（压下Power-On 键）2. 打开计算机电源，系统会自行进入WIN31，请执行 Tencor FLX 群组下之 WINFLX ，既可进入主操作画面。B. 关机 1. 离开主操作软件（Measure \ Exit ），跳出WIN31至DOS 下，关闭计算机电源。2...