[0028] 图7C示出根据一个实施例的布置在图腾柱电极上方的第四FRL结构的俯视图。 [0029] 图8示出根据一个实施例的包括用于浮动电极的第一组曲线和第二组曲线的第 五FLR结构的俯视图。 [0030] 图9是示出了根据一个实施例的相对于图的传感阵列的距离的电容中的变化 的曲线图。