AIRBORNE PARTICULATE CLEANLINESS CLASSES IN CLEANROOMS AND CLEAN ZONES (SUPERSEDING FED-STD-209D) (S/S BY ISO14644-1-1999 AND ISO14644-2-2000)doi:FED FED-STD-209E本文件建立了洁净室和洁净区空气清洁度的标准等级,并根据规定的空气颗粒浓度提供了替代等级.它规定了验证空气清洁度的方法,并要求制定...
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