综上所述，虽然SPC在制造业中扮演着重要角色，但由于其自身的局限性，仅依靠SPC可能无法完全解决低良率问题。因此，需要进一步探讨更全面的质量控制方法，如故障检测与分类FDC（Fault Detection & Classification），以更有效地提升产品质量和良率。二、EDA与YMS在质量管理中的应用 在FDC技术出现之前，制造业已借助工程...
目前，格创东智FDC落地实施工厂10+，机型200+，设备5000+，是国内半导体行业落地案例最多的厂家。不积跬步，无以至千里。正是每一次产品的迭代与优化，才有了格创东智FDC项目的厚积薄发，也才有了客户的一次又一次认可。未来，格创东智还将融合边缘计算及AI技术，与现有的FDC/SPC/APC/AMS/EAP等产品聚合，形成...
面对全厂数千台工艺设备生产,工程师必须具备实时监控和控制过程变化的能力,而FDC系统因其突出的全方面监控能力,被认为是当今晶圆厂的“关键任务”应用,是良率提升的重要武器。 FDC(设备故障侦测与分类),结合统计过程控制(SPC)和多变量分析等嵌入式功能,可以有效地实时监控来自成千上万的工艺设备传感器的流数据并提供...
采用先进的诊断技术进行一步式参数筛选,以驱动响应相关性,并反馈给工具控制(动态SPC),从而提高产量、设备参数和计量水平。 Process Control功能亮点 工具和工艺偏差最多可减少40%制程能力指数(CPK)可提升至多20%,实现更紧密的分布强大的语义模型赋能,工作效率提升高达10倍借助基于追溯的工具匹配,工艺转移及晶圆厂产能...
基于客户不断扩展的工业现场场景和多元化的业务需求,格创东智探索着FDC产品技术创新之路。“我们看到,FDC的发展呈现以下趋势:产品形态将从生产端走向云端和设备端;技术层面,通过AI加持,从传统的SPC统计学分析到工业人工智能诊断和预测;产品平台化:重构CIM系统、从单一工业软件发展到设备管理中心。”吴文龙分享道。
用于FDC的技术包含使用统计处理控制 (SPC)图表,主成分分析(PCA)和部分最小二乘方(PLS)。这些技 术中每个均提供当前操作和基准的数字比较。因此能对标准值或该比较值 周围加以限制,并且每当比较超过一个或多个数字限制时就可产生警报。 当警报产生时,可停止处理过程或采取其它行动。 FDC系统在工具级的运行具有...
上扬软件(上海)有限公司是国内为半导体、光伏和LED等高科技制造业提供整体解决方案的专业软件公司,软件解决方案包括制造执行系统(MES)、统计过程控制系统(SPC)、设备自动化方案(EAP)、配方管理系统(RMS)、数据分析系统(EDA)、故障检测分类(FDC)以及制造数据平台(MDM)等多方面的产品、服务与技术咨询。
去除了异常点后的中间fdc数据为完成数据清洗的fdc数据,根据完成数据清洗后的fdc数据,可以进行后续的spc(规格线)管控。 综上所述,本申请实施例通过获取fdc数据,去除fdc数据中的错误数据,进fdc数据进行补位,按时间因素对fdc数据点排序,计算fdc数据的特征值,去除fdc数据中的极值,得到中间fdc数据,然后再对计算中间fdc数据...
FA SPC FA EAP FA APC FA RMS FA FDC FA MDM FA YMS FA ADC FA PAT 半导体加工设备投资成本巨大,晶圆厂建厂超过75%的成本用于设备采购,因此,设备效率最大化是半导体厂降低成本、提高效率的主要方式之一。以故障监测、分类和预测为主要功能的设备故障侦测和分类软件FDC正是提高设备利用率的利器。 FDC的主要作用...
USER可依据制程自行订定监控规则,除业界常用SPC八大管制规则外,更有傅立叶转换等转换规则1. 管制规则:Max / Min / Average / Std / Range / Slope / Counter / Accumulation / 众数 / 傅立叶转换 / PAR(Peak-to-Average Ratio) / PAPR(Peak-to-Average Power Ratio) / Similar ...