世界领先的中阶梯光栅光谱仪,在利特罗(Littrow)结构中拥有最高的光谱解析能力-用于高分辨率的发射和吸收谱线的分析,尤其是准分子激光光刻技术。 ·Intensity dynamics of up to 4 orders ·最高光谱解析能力 (2.5 million-10 million) ·极高成像质量
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