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半導体デバイスを構成する材料や製造プロセスは最先端技術を追及する中で多様化し,それに伴い半導体製造装置には,多様なプロセス条件に対応する柔軟性が求められるようになってきた.今回当社は,搬送機構と洗浄機構を新たに開発し,長年のCMP事業を通して培った技術と融合させて新CMP装置F-REX300X型...