机译:CMP装置「F-REX300S Ⅱ」 获取原文 获取原文并翻译 | 示例 开具论文收录证明 >> 页面导航 摘要 著录项 相似文献 摘要 CMP装置の性能に対しては,デバイスの微細化,高速化,新材料採用に伴ない,さまざまな要求が出されている。本稿では,要求に対する課題と対応技術も含め,新プロセスに対応する...