一般形貌观察时，蒸镀金导电膜，金导电膜导电性好，二次电子发射率高，可以拍摄出质量好的图象。如果成分定性、定量分析，必须蒸镀碳导电膜。碳为超轻元素，对所分析元素的X射线吸收小，对定量分析结果影响小。所以一般定量选择镀碳会好些。镀膜要均匀，厚度控制在15-20nm左右。真空镀膜仪在蒸镀过程中会产生高温， 对熔点低
这些信号被探测器捕获并转换成电信号，经过放大和处理后，最终在显示器上形成图像或谱线，从而实现对样品的定性、定量分析。EPMA技术的主要优点包括：微区分析：能够对微小区域进行精确的成分分析。高分辨率：能够提供纳米级别的分辨率，清晰地显示样品的微观结构。多元素分析：能够同时分析多种元素，提供全面的元素分布信息...
EMPA在以上领域中的作用都离不开定量分析方法,EPMA定量方法的重要性在于其精确、全面、高空间分辨率的特点,为地质学和材料科学领域的研究提供了有效的工具和技术支持,推动着相关领域的发展和进步。 1 定量分析的起点 Castaing率先开发了电子探针显微分析仪,并在两方面为定量分析奠定了基础。首先,他认识到使用这种技术,...
点分析:在特定点上收集X射线数据,用于精确测定该点的成分。 线分析:沿样品表面的线进行扫描,分析元素分布。 面分析:扫描整个表面,生成元素分布图,展示元素的空间分布。 技术优势 高精度:通过WDS可达到ppm级别的定量精度。 微区分析:能够对微小区域(微米甚至纳米级别)进行分析。 多元素同时分析:一次扫描即可获得多种...
Ø 元素微区定性定量分析精度远优于 EDS 主要指标 Ø 最大束流：3 μA @ 30 kV Ø 图像分辨率：3 nm @ 30 kV Ø 52.5°X射线取出角，兼顾高灵敏度与高分辨率 Ø 元素定性分析：能量分辨率 8 eV，可检测元素 5 B – 92 U Ø 元素定量分析：WDS 检测限可达几十 ppm，对于含量 >5%主元素...
另外，EPMA的定量分析准确度极高，相对灵敏度可达（0.01－0.05）wt%，检测绝对灵敏度约为10 -14 g，且定量分析的相对误差控制在(1—3)%。这一技术优势使得EPMA在科研和工业领域都发挥着不可或缺的作用。值得一提的是，EPMA还支持实时观察与分析。在显微镜下观察到的现象，都可以通过EPMA进行分析和解读，这无...
电子探针显微分析仪（EPMA）可对固体样品进行微观形貌观察和化学组成的定性、定量分析，由于其能量分辨率、灵敏度远高于能谱，所以它在高精度定量分析，轻元素、痕量元素分析等方面具有显著的优势。新能源汽车的迅猛发展，对锂离子动力电池提出了更高的要求。电子探针微区分析（EPMA）在电池材料研究中的应用非常广泛，主要...
电子探针的发展历史• 1932年在柏林由Knoll和Ruska研制出第一台电子显微镜• 1939年西门子(Siemens) 第一台透射电镜(TEM) 商品• 1949年castaing用TEM改装成一台电子探针样机• 1951年 6 月, Castaing 在其博士论文中, 提出了EPMA定量分析的基本原理。• 1956 年由法国 CAMECA公司制成商品EPMA。• 1960...
EPMA的构造与SEM类似，但它增加了X射线谱仪和数据处理系统；EPMA的电子光学系统通常不如SEM那样强调高分辨率成像，而是更注重于稳定性和精确的定量分析能力。三、功能与应用的区别 1. 扫描电子显微镜（SEM）功能：SEM主要用于观察样品表面的形貌，提供高分辨率的二维和三维图像。应用：广泛应用于材料科学、生物学、地质...
电子探针，全称电子探针X射线显微分析仪，亦被称为微区X射线谱分析仪。这一技术运用经过加速与聚焦的极细电子束作为探针，对试样中的特定微小区域进行激发，使之产生特征X射线。通过测量这些X射线的波长与强度，我们可以实现对该微区内所含元素的定性与定量分析。电子探针技术运用高能电子束对分析试样进行激发，通过...