设备构造上区别很明显。EPMA长得像放大版的光学显微镜，必须配备三到四个WDS谱仪，设备体积大，价格通常是EDS的十倍以上。操作时需要每个元素单独测量，调分光晶体角度就要花时间。EDS就简单多了，探测器只有手机大小，接上电镜就能用，点一下鼠标就能开始采集。不过EDS的检测限在千分之一左右，测钠以下的轻元素误差...
二、EPMA和SEM不同点: 1.WDS探测限为0.01%-0.05%; EDS探测限为0.1%-0.5% 电子探针EPMA 的WDS具有更低的检出限,可以分析痕量元素,且超轻元素(,B ~gF)定量分析准确度远高于扫扫描电镜SEM上的EDS射线,波谱仪检测到的成分含量下限为0.01%,高于扫描电镜上所配置的能谱仪的检测下限0.1%一个数量级,且在分析中使...
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二、EPMA和SEM不同点: 1.WDS探测限为0.01%-0.05%; EDS探测限为0.1%-0.5% 电子探针EPMA 的WDS具有更低的检出限,可以分析痕量元素,且超轻元素(,B ~gF)定量分析准确度远高于扫扫描电镜SEM上的 EDS射线,波谱仪检测到的成分含量下限为0.01%,高于扫描电镜上所配置的能谱仪的检测下限0.1%一个数量级,且在分析中...