电子探针所分析的元素范围从硼(B)-铀(U)。因为电子探针成份分析是利用元素的特征X射线,而氢和氦原子只有K 层电子,不能产生特征X 射线,所以无法进行电子探针成分分析。锂(Li) 虽然能产生X射线,但产生的特征 X 射线波长太长,通常无法进行检测,配备专用的大面间距的LSA200/LSA300晶体已经可以检测 Be 元素。...
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电子探针微区分析(Electron Probe Micro-Analysis,简称EPMA)是一种高精度、高分辨率的微区分析技术,它能够定量地分析固体材料中的微量元素和化学计量比,同时还可以测量样品中的晶体结构、晶体缺陷、表面形貌等多个物理性质。仪器原理 EPMA技术基于电子束与物质的相互作用,利用电子束击打材料表面,使样品表面发射出X...
阴极发光效应对样品中少量元素分布非常敏感, 可以作为电子探针微区分析的一个补充, 根据发光颜色或分光后检测波长即可进行元素分析。从阴极发光的强度差异还可以判断一些矿物及半导体中杂质原子分布的不均匀性。例如半导体和一些氧化物、 矿物等, 用EPMA的同轴光学显微镜可以直接观察可见光, 还可以用分光光度计进行分光和...
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1 引言电子探针X射线显微分析仪(Electron Probe X-ray Micro-Analyzer,简写为EPMA或者EMA)简称为电子探针。作为一种在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展而来的高效率分析仪器,其通过电子束作用于试样微区…
EPMA线分析指南 一、引言 电子探针显微分析仪(Electron Probe Micro-Analyzer,简称EPMA)是一种利用聚焦电子束轰击样品表面,通过检测由样品激发出的特征X射线来进行元素定量分析的高精度仪器。EPMA线分析作为EPMA技术中的一种重要应用方法,主要用于沿特定路径对样品进行连续的元素浓度分布测量,从而揭示样品内部元素的空间分布...
电子探针显微镜(Electron Probe Micro-Analyzer,EPMA),是一种高度精确的分析工具,它利用聚焦的电子束与样品相互作用产生的特征X射线来实现对固体样品微区成分的定性和定量分析。 基本原理 EPMA的核心在于电子束与物质的相互作用。当高能电子束轰击样品表面时,会激发原子内部电子,导致它们从低能级跃迁到高能级或被完全抛出...
EPMA,即电子探针显微分析仪,拥有诸多显著优势。其微区性和微量性使得在几个立方μm的范围内,能够精确地将微区的化学成分与显微结构相联系。这一点是常规化学分析、X射线荧光分析以及光谱分析所无法比拟的,因为它们只能分析样品较大范围内的平均化学组成,无法与显微结构相对应,更无法深入研究材料显微结构与材料性能...
电子探针显微镜(EPMA)又称微区X射线光谱分析仪、X射线显微分析仪。 1. 显微结构的分析:电子探针是几个微米范围内的微区分析,能将微区化学成份与显微结构对应起来,是一种显微结构的分析; 2. 元素分析范围广:能分析硼(B)~铀(U)(原子序数:5~92)范围内的元素; ...