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快速、可操作的端点检测(EPD)是运行半导体工具和晶圆厂的最有效方式。 许多工艺步骤都无法部署EPD,因为所需的原位传感器不能经受住苛刻的工艺或腔室清洁化学品的影响,或者会因冷凝水沉积而出现堵塞。 因此晶圆厂不得不设定特定时间,以确保过程彻底执行完毕。相反,Aston通过准确检测一个过程何时结束来优化生产,包括腔室...
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