EFEM，即半导体设备前端模块，扮演着连接物料搬运系统与硅片处理系统的关键角色。它确保晶圆在高度洁净的环境下，能够顺畅地传输至工艺和检测模块，因而成为半导体设备不可或缺的组成部分。EFEM的结构与Sorter相似，但其主要任务是与主设备协同工作，因此主要服务于主设备商，如北方华创、中微半导体以及中电科等。作为半导体...
使用者可以根据实际需求选择不同配置的Robot，如单臂单叉、单臂双叉或双臂双叉，以及从1到4工位的Loadport。厦门蚨祺自动化设备有限公司的两款明星产品EFEM与Sorter是厦门蚨祺自动化设备有限公司的两大核心产品。EFEM，作为与主设备协同作业的关键组件，其特色在于其圆装载系统（Loadport）、晶圆运输机器人（Robot）以...
EFEM(设备前端模块)是半导体制造过程中的重要组成部分。它配备有大气晶圆搬运机器人,安装在框架中,该框架还配有FFU(风扇过滤器单元)和装载端口。EFEM主要安装在工艺设备的前端,确保晶圆在传输过程中的洁净和安全。根据日本半导体设备协会的定义,EFEM模块设备在框架中安装了大气转移晶圆机器人,该框架还配备了FFU和前面的...
EFEM的主要功能是安装在工艺设备的前端,确保晶圆在传输过程中的洁净度和安全性。根据日本半导体设备协会的定义,EFEM是一种模块化设备,具有大气传输晶圆机器人的框架,配备有FFU和装载端口。它被安装在工艺设备的前端,为半导体制造提供了一个洁净、安全的工作环境。在全球化背景下,外资企业在国产化方面的努力也体现在EFEM...
作为半导体生产线上的关键设备之一,EFEM的市场需求将持续增长。 * 同时,随着全球半导体产业的不断扩张和升级,EFEM的市场规模也将不断扩大。预计未来几年内,EFEM市场将保持高速增长态势。 综上所述,EFEM作为半导体设备中的关键组成部分,在半导体制造过程中发挥着重要作用。随着技术的不断进步和市场需求的增长,EFEM...
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EFEM主要安装在工艺设备的前面。EFEMs (Equipment Front End Modules)Module equipment with an atmospheric transfer wafer robot installed in a frame equipped with an FFU (Fan Filter Unit) and a load port attached to the front. Installed in front of the process equipment.以上内容参考日本半导体设备协会...
晶圆传输设备,也被称为晶圆设备前端模块(EFEM),是半导体生产中不可或缺的一部分。在洁净和超洁净环境之间频繁转换的晶圆,需要这种设备来确保它们不会被微粒子附着。EFEM的作用就像是晶圆的外接设备,安装在传输设备的前端,作为晶圆进出的窗口,连接生产车间的轨道和加工设备。EFEM...
在日本的半导体设备领域,EFEM(设备前端模块)是一个备受关注的核心零部件。EFEM模块配备有大气晶圆搬运机器人,安装在框架中,框架还配备了FFU(风扇过滤器单元)和装载端口。这种模块主要安装在工艺设备的前面,用于晶圆的传输和处理。根据日本半导体设备协会的定义,EFEM模块是一种模块设备,其中安装了大气转移晶圆机器人,框架...
EFEM组件是半导体生产设备中的重要组成部分,主要由晶圆装载系统(Loadport)、晶圆运输机器人(Robot)、晶圆对准器(Aligner)三大部件组成。EFEM组件的主要功能是保证倒片过程的洁净要求,实现晶圆的下线、制程前分批、制程后合并、制程间倒片的卡控和产品出厂校验...