SEM 工作原理:扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗 粒,成像信号 可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为 5 ~ 35keV 的电子,以其交 叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度 和 束斑直径...
SEM 工作原理:扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗 粒,成像信号 可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为 5 ~ 35keV 的电子,以其交 叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度 和 束斑直径...
扫描电镜中能谱的原理每个原子都有一个独特的电子数,它们在特定位置的正常条件下存在,如图2所示。这些位置属于特定的轨道,它们拥有不同的、离散的能量。SEM中X射线的生成一共有两个步骤。在第一步中,电子束撞击样品并将部分能量转移到样品的原子上。这种能量可以被原子的电子用来“跳跃”到具有更高能量的能量轨...
从寻找食物污染物到识别机器故障,再到预测飞机零件的腐蚀方式,能谱分析(EDX或EDS)是当今材料科学家广泛采用的技术。与扫描电子显微镜(SEM)一起使用时,EDX探测器可以提供更多样品信息。 使用EDX,研究人员可以快速得到有关样品化学成分的信息,包括元素构成、分布及浓度。 但是EDX到底是如何工作的 利用扫描电子显微镜,各种...
SEM是扫描电子显微镜,最高可放大至20万倍左右,用二次电子成像的原理来观察某种物质的微观形貌。EDS是能谱仪,是每种元素对应的电子能不同,来鉴别元素,通常是门作者笔士国和SEM结合使用,也就是说在SEM上安装EDS附件,在观看形貌时,选择一定区域用EDS打能谱,也就知道了该区域的元素组成。XRD是X射线衍射仪,其原理...
2 SEM & EDX
SEM/EDX基本原理 1.X射线产生原理:X射线的产生是由于入射电子和样品发生非弹性碰撞的结果。当高能电子与原子作用时,它可能使原子内层电子被激发,原子处于激发状态,内层出现空位。此时,可能有外层电子向内层跃迁,外层和内层电子的能量差就以光子的形式释放出来,它就是元素的特征X射线。光谱仪接受此特征X射线的光子,...
EDX原理说明 EDS状况说明 .1.EDS原理:SEM中电子束撞击样品时,会有样品中外层轨道的电子能量的跃迁,从而产生有特性X-RAY信号, 不同的元素,甚至相同元素不同的电子轨道,产生的特性X-ray能量也会有所不同.特性X-RAY进入EDS侦测器被其Si晶体侦测, 将光信号转换产生电信号,经过前置放大器和脉冲处理器对电信号进行...
EDX的原理图:EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的, 根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。 SEM下拍的结构形貌图如下: FIB:聚焦离子束,可以定位切截面,然后一刀一刀往里面切,直到达到目的 FIB机台示意图: FIB应用: FIB...