当扫描电子显微镜与EDX探测器结合使用时,X射线也可以用作产生化学信息的信号。 为了更好地理解X射线的产生原理,我们要清楚,每个原子都拥有特定数量的电子,且电子处于特定的能级。正常情况下,电子在特定的轨道上运行且具有不同的、分立的能量。 EDX分析原理 电子束轰击原子内层,激发出基态原子的内壳电子,在内层留下带...
EDX 工作原理:X 射线能量色散仪的基本原理是以 高能 X 射线(一次 X 射线)轰击样品,将待测元素原 子内 壳层的电子逐出,使原子处于受激状态,10-12~10-15 秒后,原子内的原子重新配位,内层电子的 空位由较外层 的电子补充,同时放射出特征 X 射线(二次 X 射线)。特征 X 射线波长和原子序数有一定 关系,测...
此外,EDX可以用于定性(元素的类型)以及定量(样本中每个元素的浓度百分比)的分析。在大多数SEM中,专用软件可以自动识别峰值,并计算检测到的每个元素的原子百分比。EDX技术的另一个优点是,它是一种非破坏性的表征技术,需要很少或不需要样品的制备。
SEM/EDX基本原理 1.X射线产生原理:X射线的产生是由于入射电子和样品发生非弹性碰撞的结果。当高能电子与原子作用时,它可能使原子内层电子被激发,原子处于激发状态,内层出现空位。此时,可能有外层电子向内层跃迁,外层和内层电子的能量差就以光子的形式释放出来,它就是元素的特征X射线。光谱仪接受此特征X射线的光子,...
1、SEM+EDXSEM:(Scanning electron microscope)扫描电子显微镜工作原理:从电子枪阴极打出直径为2030um的电子束,受到阴阳极之间加速电压的作用射向镜筒,经过聚光镜及物镜的汇聚作用,缩小成约几纳米的电子探针。在物镜上部的扫面线圈的作用下,电子探针在样品表面做光栅状扫描并激发出多种电子信号。这些电子信号被相应的...
EDX的原理图:EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的, 根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。 SEM下拍的结构形貌图如下: FIB:聚焦离子束,可以定位切截面,然后一刀一刀往里面切,直到达到目的 FIB机台示意图: FIB应用: FIB...
SEM是一种用于观察材料表面形貌的显微镜技术,结合EDX元素分析,可以揭示材料的元素组成信息。SEM通过电子束轰击样品表面,产生二次电子、背散射电子、吸收电子等信号,从而形成图像。在分析过程中,通过调整电子束的能量和扫描速度,可以获得不同深度和分辨率的图像。EDX则通过检测背散射电子中的X射线,进一步...
•一:SEM/EDX基本原理•二:样品制备•三:参数选择 2.SEM/EDX基本原理:二次电子和背散色电子 二次电子SE:二次电子SE检测器接受入射电子与试样产生二次电子,进行SEM分析。二次电子SE特点:1.二次电子主要来自试样表面,只有试样表面产生的二次电子能被检测到,因此SE用来分析样品的表面形状,外观形貌特征。3...
1)背散射电子的形成: 当入射电子束作用在试样表面以后,经过弹性碰撞和非弹性碰撞后会从试样表面逸出。背散射电子的发射深度约为试样表面以下10nm~1μm,展现样品更深处的结构信息。 背… 卡林仙猫 EDX的基本原理与应用 1 引言元素分析在电镜分析中经常使用,通过在现代分析型电镜内安装X射线能谱、能量过滤器、高角...