你说的EDS是指能谱仪么？好像能谱仪一般都不能测定氧的，其要求测定原子序数大于11的元素。波普（WD)...
不准。EDS测轻元素的%，不是很准确。比如测C的量那么测O的%可信比C大多少，基本上和C是一样的。与C不同测量结果有O可以相信，含量多少的可信度和其它超轻元素相当。另外(这个是主要问题), 在用Mapping时，测元素分布，因为O元素较轻，使测量结果不准。EDS即能谱，只是定性分析，或半定量；对于...