驾驶式板材清洁器ECU25MCD 特征 用刷子和吸尘器清除污垢和灰尘 可独立安装 不需要调整基板厚度 刷子接触检测功能(选项) 可视化刷子是否与基板接触 提供自动步长变化 基板传送方向 右→左(左→右) 基材转移标准 前侧(后侧) 基板传送高度 900±25(毫米)