对ECR等离子体放电原理,特点,参数诊断,以及在薄膜沉积和刻蚀方面的应用做一简要调研 关键词ECRPlasma,lmetching 目录 §1引言1§2ECR等离子体概述2§2.1ECR放电原理..........................................2 §2.2ECR等离子体源的优点.....................................2 §
1ECR等离子体放电原理 ECR等离子体有如下的优点:(1)放电气压低至10 -2 ～10 -1 Pa, 而等离子体密度高达10 10 ～10 12 cm -3 ;(2)能量转换率高,电离度 高,对微波的吸收率高达95%以上;(3)无内电极放电无污染; (4)低温下激发的高密度活性基有利于高温材料的低温合成。 图2是两种常用的紧凑型和延长型...
ECR等离子体 电子回旋共振等离子体 (Electron CyclotronResonance,ECR)z ECR等离子体源发展历史：（1）微波电源的发展 1921： 磁控管 1939：速调管 （2）二战中微波技术的迅速发展 雷达 （3）微波灶的普及 1960-1970 微波电源价格大幅度下降 （4）1970年代前期：高温核聚变等离子体微波加热 后期：日本，捷克 ...
状态1:电子在均匀磁场中的运动关系(洛伦兹力) 如图所示,根据电磁场原理,速度为V(方向平行于纸面)的电子在一个均匀恒定电磁(垂直纸面向里)中,电子受到垂直与运动方向的向心力,如果没有其它作用的影响情况下,电子将做匀速圆周运动,其角频率Wce可以表示为: 状态2:均匀磁场+时变电场(电子回旋加速) 如下图所示,...
离子灵敏探针的设计原理如图3所示,探针由两个同心电极组成,外电极是屏蔽管,内电极是离子收集极。收集极收缩至屏蔽管以内,且探针轴与磁场方向垂直。由于在磁化等离子体中离子的回旋半径远大于电子的回旋半径,即rgi>>rge。在理想情况下,如果将收集极收缩高度h值设为:rgi>h>>rge,当离子和电子同时经过探针时,探头只能...
微波电子回旋共振加热原理(a)微波ECR等离子体内的有效电场+ coVc2Vc「L」Eeff特性电子回旋频率附近,击穿电场显著降低实验结果:磁H*T)回旋运动角频率 3 ce = eBo/me = CO wave(b)ECRplasma中微波传输及吸收的主要特性一微波ECR等离子体为各向异性介质,沿磁场方向传播的te 波将分为右旋偏振波和左旋偏振波,色散...
(5)1980 集成电路芯片刻蚀加工: 低气压高密度等离子体源竞争 ECR,ICP.Helicon. Hitachi, Astex. ECR等离子体源结构: 微波电子回旋共振加热原理 (a)微波ECR等离子体内的有效电场 B0 ≠0 2 2 ~ v2 ⎡ 1 1 ⎤ E Eeff c ⎢ 2 2 + 2 2 ⎥ 2 ( ) ( ) ωω v ωω v + ⎢ + − + ...
ECR-拟黑多刺蚁 mRNA原位杂交试剂盒原位杂交是在一定生物结构基础之上的核酸杂交。这种结构基础可以是一条染色体;一个细菌;更大结构基础是细胞和组织。基本原理是两条核苷酸单链片段,在适宜的条件下,通过氢键结合,形成DNA-DNA、DNA-RNA或RNA-RNA 双键分子,应用带有标记的(有放射性同位素,如3H、35S、32P、荧光素生...
根据电子回旋共振吸收微波原理产生的微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积（ECR-MOPECVD）技术具有等离子体密度高、电离度高、无内电极放电、无高能离子、易于大面积均匀沉积等优点。可在低温乃至室温下制备优质、均匀、结构致密的薄膜材料[4~5]。ECR-MOPECVD法能够在400~600℃的低温下生长GaN薄膜，因此减少...