D. Tucker, "Intermetal dielectric deposition by electron cyclotron resonance chemical vapor deposition (ECR CVD)", Microelectronics Journal, 26, 8, 1995.Lassig, Stephan E. et al., " Intermetal Dielectric Deposi
解析 电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance)微波等离子技术是本世纪六十年代中期开始的,经过几十年的发展,现在已日趋成熟.微波ECR等离子体与传统等离子体相比,具有高密度、高能量转换率、低工作气压、无电极放电、高各向异性以及低离子能量等优点,最初被应用于核聚变的开发研究,后来又在托卡马克、串级磁镜等聚变装置...
resonance n. 1.[U](声音)洪亮,响亮 2.[C,U]共鸣,共振,谐振 3.[C,U](文章、乐曲等)激发联想的力量,引起共鸣的力量,引起联想或共鸣 electron n.[C] 电子 Electron 埃雷克特龙镁合金 cyclotron magnetron 回旋加速磁控管 synchro cyclotron 稳相加速器 cross resonance 交叉共振 最新...
电子回旋共振（Electron Cyclotron Resonance，ECR）利用电磁波（通常是微波）在磁场中产生的电子回旋共振来产生等离子体，然后利用这个等离子体来对半导体材料进行刻蚀。2.45GHz的微波 微波是一种电磁波，其波长在1毫米到1米之间，对应的频率范围约为300兆赫（MHz）至300千兆赫（GHz）。而半导体制造中常用的微波为2.4...
关于反应离子刻蚀RIE(reactive ion etching)的工作原理,在这里就不展开讲,本文章主要介绍ECR(electron cyclotron resonance)产生等离子体的工作原理。 状态1:电子在均匀磁场中的运动关系(洛伦兹力) 如图所示,根据电磁场原理,速度为V(方向平行于纸面)的电子在一个均匀恒定电磁(垂直纸面向里)中,电子受到垂直与运动方向...
(Electron Cyclotron Resonance,ECR)利用电磁波(通常是微波)在磁场中产生的电子回旋共振来产生等离子体,然后利用这个等离子体来对半导体材料进行刻蚀。 2.45GHz的微波 微波是一种电磁波,其波长在1毫米到1米之间,对应的频率范围约为300兆赫(MHz)至300千兆赫(GHz)。而半导体制造中常用的微波为2.45 GHz。
电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance,ECR)利用电磁波(通常是微波)在磁场中产生的电子回旋共振来产生等离子体,然后利用这个等离子体来对半导体材料进行刻蚀。 2.45GHz的微波微波是一种电磁波,其波长在1毫米到1米之间,对应的频率范围约为300兆赫(MHz)至300千兆赫(GHz)。而半导体制造中常用的微波为2.45 GHz。
ECR离子源是一种广泛应用于离子束技术的离子源,ECR代表电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance)。 ECR离子源的原理是利用安装在强磁场中的微波腔产生电子回旋共振,并通过微波辐射能量将带电粒子加热至高能态。当微波频率与回旋半径上的电子洛伦兹频率相匹配时,电子将被加热并形成一种高温等离子体。由于等离子体中存在...
电子回旋共振（Electron Cyclotron Resonance，ECR）是物理学领域中的一个重要概念。在特定磁场环境下，电子受到洛伦兹力作用而发生回旋运动。同时，该区域内存在特定频率的微波。当电子的回旋运动与微波发生共振现象时，产生了一系列物理过程。电子在微波电场中不断加速，吸收能量。由于微波频率与电子回旋频率...
面向等离子体材料作为聚变等离子体和核反应堆结构之间的主要界面,遭受恶劣的辐照条件,为了提升对面向等离子体材料的改进研究,实验室模拟聚变环境装置.基于已搭建完成的用于研究聚变反应堆中等离子体-材料相互作用的电子回旋共振(electron cyclotron resonance...