CVD的胸部表现还包括疾病特异性发现,例如RA的坏死性结节、狼疮性肺炎、SScl患者的食管扩张和运动障碍以及多发性肌炎由于呼吸肌无力导致的通气不足(图1)。间质性肺病间质性肺炎是CVD最常见的胸腔内表现。胶原血管病可能与几乎所有类型的弥漫性间质性肺炎有关,并可能发展为肺纤维化。最常见的是,间质性肺炎发生在已...
采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积 (ECR CVD)技术 ,用苯和三氟甲烷混合气体 ,制备了氟化非晶碳膜 (a C:F).用红外吸收光谱 (FTIR)和X射线光电子能谱 (XPS)分析了a C:F薄膜的结构.FTIR结果表明 ,氟主要以C—F,CF2 的形式成键形成a C:F薄膜 ;XPS结果进一步证明a C:F膜中存在C—F,CF2 键 ,...
1ECRCVD设备的基本原理 1.1工艺目的：在半导体激光器的前后腔面镀光学介质膜用以形成谐振腔。1.2英文翻译：ElectronCeclotronResonanceChemicalVaporDeposition电子回旋共振化学气相沉积1.3设备基本原理：微波激励、磁场限制气体辉光放电产生等离子体，在淀积室中反应并沉积形成介质膜。微波激励气体辉光放电，磁场可以增加离子...
必应词典为您提供ECR-CVD的释义,网络释义: 电子回旋共振化学气相沉积;电子回旋共振化学汽相沉积;化学气相沉积系统;
首先,用ECR-CVD我们得到～1020cm-3 高载流子浓度的20nm p外延层,无ITO层的μc-Si:H(p)/c-Si(n) 平面Si太阳电池的转换效率接近6.8%(面积为0.63cm2),Jsc是17.4mA,Voc是511mV, FF达到63.4%,见图4(a)。进而,我们认为在同一薄膜厚度下Voc和Jsc有可能比用PECVD制备的更好,这是由于在ECR-CVD系统中掺杂层...
微波电子回旋共振化学气相淀积
实用的等离子体CVD技术,可在较低的温度(250～35O℃)下沉积 si.N”si0等薄膜. CVD法和等离子体CVD法一般都普遍采用气压为O.1～1rOfl”的高 频放电”). 在等离子体中被高频电场加速的电子与气体分子相撞,引起激发,分 解和离子化,使其 变化(活化)为游离基,离子等易反应的激发分子状态.Si.N.膜沉积用 ...
1) ECR CVD ECR CVD 1. In this paper, the fabrication of cBN films byECR CVDtechnique assisted with a hot filament was reported. 我们用热丝辅助ECR CVD方法制备了cBN薄膜,并初步探讨了热丝对cBN形成的作用。 2) ECR-CVD ECR-CVD 1. Synthesis of Carbon Nanotube Junction by ECR-CVD; ...
ECR等离子体刻蚀CVD金刚石膜的研究
其理论依据是根据难溶化合物溶度积(k_(sn))的不同,通过改变沉淀转化剂的浓度、转化温度以及借助表面活性剂来控制颗粒生长和防止颗粒团聚,获得单分散超微粒子。该法具有实验设备简单,原料成本低、工艺流程短、操作方便、产率高等优点。利用该法我们已经成功的制备出了Ni(OH)_2,NiO,CuO,La(OH)_3,ZnO,Co(OH)_2...