扫描电镜配备了OXFORD的EDS探测器和高速EBSD探测器。EDS利用不同元素X射线光子特征能量不同的特点来进行材料表面微区成分的定性和定量分析,在材料表面做元素的面、线、点、分布分析。电子背散射衍射(EBSD)将显微组织和晶体学分析相结合,可用来测量晶体取向、晶界取向差、鉴别物相以及局部晶体完整性的信息。在金属、半导...
EDS-EBSD一体化系统 EDS-EBSD一体化系统是一种用于化学领域的分析仪器,于2016年5月23日启用。技术指标 能谱探测器晶体有效检测面积60mm2,能量分辨率126eV;高分辨EBSD相机,分辨率1392×1040;一体化分析平台;配备Genesis粒度分析软件。主要功能 元素检测功能。晶体取向与织构检测。粒度分析功能。
能谱探测器和Symmetry EBSD技术在本研究中展现了其高速度和高分辨率的优势。AZtec软件的TruPhase功能利用能谱实时区分具有相似晶体结构但成分不同的相,极大地提高了分析的准确性。Symmetry EBSD技术在短时间内完成了多种物相的标定和能谱采集,显示了其高效率。总结与展望 通过运用先进的EDS和EBSD技术,研究人员能够对...
样品的这个区域包含3种矿物相:钠长石、黑云母和白云母。黑云母和白云母具有非常相似的晶体结构,因此基于传统EBSD很难区分。(a) 样品分析区域的前散射图像(FSD);(b) EDS元素分布图。在钠长石中钠的浓度最高,在白云母中Al的浓度最高,黑云母中Fe的浓度最高;(c) 使用传统的EBSD方法获得的相分布图(左)。由于...
EBSD(Electron Backscatter Diffraction)是一种显微组织分析技术,用于研究材料的结晶结构和晶体学导向关系。两种技术通常结合使用,可以提供丰富的材料信息,对材料科学研究和工程应用具有重要意义。 EDS能谱和EBSD设备常用于电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)等材料表征仪器中。这些设备可用于对金属、半导体、陶瓷、生物...
01电子背散射衍射(EBSD)是什么?电子背散射衍射(Electron Back Scatter Diffraction, EBSD)是一项在...
为了解决这些问题,研究人员使用能谱(EDS)及背散射电子衍射技术(EBSD)对微焊点中的成分、晶体结构、晶粒取向、大小等进行快速表征。通过这些技术手段,可以高效地监测和控制微焊点的形成和演化过程,从而提高微电子设备的性能和可靠性。因此,EDS和EBSD技术的应用为半导体工业中焊点设计与工艺优化提供了重要的参考和指导...
一体化的高速EBSD与EDS系统技术参数及要求 一体化的高速EBSD与EDS系统技术参数及要求 本采购设备能在Sirion 200热场发射扫描电镜上实现高速EBSD和EDS功能,保证仪器的完整性。具体要求如下:1
EDS、EBSD使用总结 EBSD(symmetry) SEM端:块状样品EHT一般用20kV,I一般用7.9nA(选择范围5~10nA,最大可到14nA),WD可在5~25之间选择,最佳10~15 进EBSD探头:先移至140~150,然后入,看着SEM端的TV图像慢慢进,到位点停,最近位置158,到位后点掉接近保护的勾,将SEM端的图像亮度对比度调到合适的值。摘要:样品...