采用EBSD技术对样品表面的自动快速取向测量,可以精确勾画出晶界和孪晶界,同时可进行晶粒尺寸统计分析。5.应变评定 晶格中有塑性应变会使菊池线变模糊由菊池衍射花样的质量可以直观地定性分析超合金铝合金中的应变半导体中离子注入损伤从部分再结晶组织中识别无应变晶粒等。另外,利用EBSD还可进行再结晶度和应变的测量及多相材料的相比
一、EBSD样品要求。1. 表面质量。平整度:样品表面需尽可能平整,一般要求粗糙度在纳米级别。因为粗糙的表面会导致电子散射不均匀,影响背散射衍射花样的质量和清晰度,进而无法准确进行晶体取向分析。例如,若表面存在较大起伏,电子在不同位置的散射路径差异大,花样中的菊池线会模糊、扭曲,难以准确测量和分析。清洁...
(a) 目前比较常用的EBSD制样方法为机械抛光、电解抛光、聚焦离子束(FIB)、氩离子抛光; (b) 机械抛光比较常用的抛光膏硬度较大,虽然粒度可以很小,但仍会划伤表面,不适合硬度较小、易于氧化、晶粒比较细小的材料。 (c) 电解抛光是做 EBSD 检测时比较常用的手段,但是对于不同材料其电解液的配方不同,同时不同尺寸...
首先,喷金不行,只能喷碳,因为碳是无定型态的。其次,EBSD 和 EDS 类似,不是扫表面的,扫的是...
1) 导电性良好;2) 适合的形状及尺寸(大小、厚薄);3) 要求样品表面平整、清洁、无较大的应变、无残余应力;4)EBSD对结晶完整性极为敏感,样品制备时必须去除表面的任何损伤。 1. 一般的样品制备步骤 常用的EBSD样品制备工艺:机械方式:机械抛光(陶瓷样品) 。化学方式:化学侵蚀,电解抛光(金属样品)。
EBSD技术具有很高的空间分辨率,可以达到纳米级甚至更高级别。这使得它在观察细小晶粒或者微观结构时非常有...
EBSD 数据来自样品表面下 10-50nm厚的区域,且EBSD样品检测时需要倾转70°,为避免表面高处区域遮挡低处的信号,所以要求EBSD样品表面“新鲜”、清洁、平整、良好的导电性、无应力等要求。 (一)制样:取样,切割,显微磨削=研磨+抛光。 1 取样和切割 取样尽量用线切割法,避开有缺陷地方,选择有代表性部位。试样应为...