电子束光刻EBL设备技术原理及其应用 | 电子束光刻(EBL)是一种使用电子束对物体进行微米级别的图案制造技术,广泛应用于光学、电子、纳米加工等领域。其技术原理是通过电子枪产生高速电子束,然后通过电子光学系统成像,并最终通过控制电子束的位置和强度,进行图案刻蚀。该技术能够在纳米级别上可精确制造复杂图形和结构。EBL...
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