电子束蒸发设备—E-Beam-HV 电子束蒸发设备可以在高真空和超高真空环境下实现精确的多层薄膜制备。线性电子束枪可以实现多种材料的蒸发。设备可选配考夫曼离子源实现晶圆的预清洗,可用于超导量子等领域,适用于高校及企业研发和小规模生产场合。
隐冠半导体基于多年的真空产品和高端运动系统的开发经验,针对电子束晶圆检测设备开发的高真空XY台已实现批量化生产,已给国内多家相关企业批量供货,且在国内头部Fab厂稳定运行,其位置稳定性可达±2nm,速度均匀性<0.1%(速度为100mm/s)。可广泛应用于电子束缺陷检测(E-beam Defects inspection)、电子束关键尺寸检测(CD...
镀膜设备 全部产品列表 产品简介 E-Beam电子束蒸发镀膜系统304不锈钢圆柱形腔体,标准直径有18英寸和24英寸,分子泵或冷凝泵;手动传片或自动传片,适合各种形状尺寸的小片到200mm大的圆片,高真空背景传递;PLC自动控制界面,菜单控制,数据获取和远程控制,QCM膜厚监控,光学膜厚监控。
另外,由于不同地区电子束(E-Beam)灭菌设备行业发展程度也不同,报告也详细地阐述了各地区该行业的发展概况,以及电子束(E-Beam)灭菌设备行业发展的驱动因素及阻碍因素,多维度对电子束(E-Beam)灭菌设备行业的发展做出专业且客观的剖析。 电子束(E-Beam)灭菌设备市场研究报告提供了研究期间内中国主要区域市场规模的统计...
型号:E-beam --- 产品参数 --- 产地台湾 --- 产品详情 --- 价格货期电议 电子束蒸镀设备 E-beam Evaporation System 电子束蒸发与热蒸发对比, 能够在非常高的温度下熔化材料, 如钨, 石墨 ... 等等. 结合石英震荡片的反馈信号, 可轻松控制蒸发速率, 以调节电子束电流并蒸发更多材料而不会破坏真空. 因此...
设备: e-beam 电子束蒸发系统 离子源型号: KDC 75 应用: IBAD 辅助镀膜, 在玻璃上镀上高反射率膜 (光栅的镀膜) 离子源对工艺过程的优化: 无需加热衬底, 对温度敏感材料进行低温处理, 简化反应沉积 上海伯东美国 KRi 离子源适用于各类沉积系统 (电子束蒸发或热蒸发, 离子束溅射, 分子束外延, 脉冲激光沉积)...
电子束光刻系统EBL (E-Beam Lithography) 电子束直写系统 价格 价格面议 发货地 北京 咨询底价 产品服务 热门商品 布鲁克 JV-QC3 高分辨率衍射仪HRXRD 价格面议 BRUKER 布鲁克 JV-DX X射线衍射仪 XRD 价格面议 EVG®850 TB Automated Temporary Bonding 自动化临时键合 价格面议 Trymax 半导体 等离子体光...
剥离成形电子束蒸镀设备 Lift-Off E-beam Evaporation System对于有些金属, 我们很难使用蚀刻 Etching 方式来完成想要的电路图案 Circuit Pattern时, 就可以采用 Lift-Off 制程来做出想要的金属图案. 在此过程中, 电子束蒸发于在基板表面上沉积所需的薄膜层于牺牲层与基材上, 最终在洗去牺牲层, 以得到其电路图案...
摘要:据Digitimes网站报道,台积电近期向日本E-beam设备供应商Nuflare添购设备,据业内人士了解,台积电这次向Nuflare添购的设备极可能就是与E-beam制程相关的先进设备。由于台积电2007年9月45纳米制程即将量产,针对下一世代32纳米、乃至于22纳米制程,也展开全力研发部署,因此多重电子束、EUV未来发展也备受外界关注。 NuFlare...
这个E beam检测设备,是在台湾生产的。是ASML 4年前用30亿美金并购的台湾公司HMI做的。【转发】@快科技官方:【5nm工艺起飞 ASML宣布全新半导体技术:产能大涨600%】提到荷兰ASML公司,大家都知道他们是全球唯一...