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专利名称 一种DMD无掩膜光刻超导量子芯片方法、装置、系统及介质 申请号 2022108929947 申请日期 2022-07-27 公布/公告号 CN115407615A 公布/公告日期 2022-11-29 发明人 梁莹,冯冠儒,项金根,孟铁军 专利申请人 深圳量旋科技有限公司 专利代理人 唐敏 专利代理机构 深圳经纬创新知识产权代理有限公司 专利类型 发明专...