价格 ¥ 50000.00 起订数 1台起批 发货地 上海 商品类型 仪器仪表 、 行业专用仪器仪表 、 其它行业专用仪器仪表 商品关键词 DMD光刻机、 DLP光刻机、 DMD无掩模光刻机、 无掩模光刻机、 无掩模投影光刻 商品图片 商品参数 品牌: 昊量 是否支持加工定制: 是 是否进口: 否 适用范围: 科研 产...
长春理工大学学报(自然科学版)JournalofChangchunUniversityofScienceandTechnology(NaturalScienceEdition)Vol.4No.Apr.019第4卷第期019年4月唐志方,等:基于DMD的数字光刻定焦变倍投影系统设计收稿日期:018-10-19基金项目:北京市科技创新引导基金专项(Z1711000031
摘要 校准DMD光刻系统中投影镜头焦面和相机焦面位置的方法属于确定DMD光刻系统中投影镜头焦平面和相机的焦平面位置的校准方法领域,该方法设计了一种辅助对焦分划板,借助该分划板规律断续的外轮廓线边缘,可以在校准过程中快速判断分划板的端面倾角姿态是否与光轴垂直;利用反光镀膜间隔条纹可以判断分划板沿光轴方向的距离位...
DMD光刻投影镜头 深圳市大桔科技有限公司 免费会员 DMD光刻投影镜头 参考价:面议 具体成交价以合同协议为准 产品型号 品牌 其他厂商性质 所在地 访问次数:971更新时间:2021-11-10 13:01:03 产品分类品牌 深圳市大桔科技有限公司 免费会员·4年 联系人:...
本发明提出一种用于DMD投影光刻的空间光强度匀化系统,为解决现有DMD投影光刻系统中目标面处的光场均匀性差、能量利用率低的问题。该系统包括由前自由曲面和后自由曲面集成在一个透镜上的结构;其设计方法包括以下步骤:建立空间坐标系;对前自由曲面和目标面进行划分,根据能量映射关系建立矢量坐标对应关系;对前自由曲面采用...
本发明公开了一种DMD无掩膜光刻机的投影物镜镜头,从入射方向开始依次设置:具有正光焦度第一透镜组;光阑;具有负光焦度第二透镜组;具有正光焦度第三透镜组;其中:第一透镜组接收从DMD出射的光线,包含3个光焦度依次为负、正、负的透镜;第二透镜组收集从第一透镜组出射的光线,并将其出射至第三透镜组,第二透...
校准DMD光刻系统中投影镜头焦面和相机焦面位置的方法属于确定DMD光刻系统中投影镜头焦平面和相机的焦平面位置的校准方法领域,该方法设计了一种辅助对焦分划板,借助该分划板规律断续的外轮廓线边缘,可以在校准过程中快速判断分划板的端面倾角姿态是否与光轴垂直;利用反光镀膜间隔条纹可以判断分划板沿光轴方向的距离位置是否...
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光刻投影镜头需要将镜头中的每个镜片精确定位,位置精度需要达到微米甚至是亚微米的水平,同时,倾斜偏差度要小于一微米。 目前,现有技术的DMD光刻投影镜头主要存在如下问题:1、物方视野小;2、像方分辨率低,有像差、畸变等;3、镜片之间的空气间隙控制不好;4、镜头中的空气排出性能差,不能满足严格的公差要求;4、同轴...