DLTS测试广泛应用于半导体材料研究和器件性能评估中。在半导体材料研究中,DLTS测试可以用于检测杂质、缺陷的深能级及界面态,以及研究半导体材料的电学性质。在器件性能评估中,DLTS测试可以用于评估半导体器件的质量和可靠性,以及研究器件的性能和特性。 三、DLTS测试的优势 DLTS测试具有以下优势: 高灵敏度:DLTS测试的检测灵...
测量方式 对于传统 DLTS 频谱(如图 1 所示), 首先通过一个正向电压脉冲暂时抵消偏置电压, 随后对电容瞬态值进行测量。瞬态值是以快速的时间分辨获取的, 并能够持续足够长的时间, 速率窗口最长可达 5 s。 如图2 所示, MFIA 作为 DLTS 测试核心。MFIA 能够提供电压脉冲, 并在 1 MHz 频率下以较高的时间分辨率 (...
l集成C-V、I-V、C-f、C-t、I-t、DLCP等多种测试功能 可配选件 lTEMP-OPT 温度控制选件,详询 Marketing@lockinst.com lDLTS-OPT DLTS测试选件,包含: nI-DLTS选件 nD-DLTS选件 nO-DLTS选件 nPITS选件 nDLTFS选件 nL-DLTS选件 lOthtertest-OPT 其他测试功能选件,包含: ...
1 由于DLTS测试属于非标准测试,和Raman 和XRD 不同,不保证测试样品有有效的测试结果。 2 测试有一定探针损伤,脆薄样品应提前告知,氦气降温台有震动(10K低温-300K) 3 测试样品不应含有放射性小于(0.5 μSv/小时) 4 含有低毒、重金属样品、需要额外加费 操作模式 C-DLTS (标准) CC-DLTS I-DLTS (标准) O-...
1.研究了深能级瞬态谱(DLTS)的测量方法,在传统的DLTS测试系统基础上, 改进并提也了一套基于LabVIEW平台的评估半导体器件的DLTS系统构建方案。论文 给出了系统搭建的基本原理,它由样品台(包括温度控制器)、电容测试仪、双脉冲发 生器、数据采集设备及虚拟仪器平台等部分组成。
材料纯度,生长工艺,退火条件均会影响半导体材料中的杂质或缺陷能级状态,如何精确测量半导体中的能级位置,俘获截面及浓度是进行材料物理研究,制备高性能电子器件的关键步骤.利用深能级瞬态谱(DLTS)技术,采用不同测试条件测量n+p结构硅材料中出现的不同能级位置的深能级,观察到p型外延层中出现的7个深能级.对比不同锁相...
在实际应用中,现有的DLTS测试系统中的变温平台是高低温混合使用的,为了同时满足半导体材料的低温测试需求和高温测试需求,现有变温平台的加热板和测试样品之间设置有隔层,所以,现有变温平台只能在300摄氏度~400摄氏度的高温范围内长期稳定使用,但是,对于某些具有高温特性的半导体材料,例如碳化硅,其深能级瞬态谱的特征温度...
摘要: 索相科技(上海)有限公司是瑞士苏黎世仪器官方授权的系统方案提供商,双方合作开发推出的深能级瞬态谱(DLTS)测试分析系统LT-8000,支持C-DLTS, I-DLTS,D-DLTS,DLTFS,DLCP等多种测试模式和算法模型,助力用户快速,准确获取被测样品的载流子浓度NDL,结势垒距离...
SATOCL412e打印机：关机的情况下，按住feed键，开机听到滴的一声后松手，就进入了testprintmode。其中包括：configuration（打印设置测试页）、barcode（打印条码测试页）、HeadPatten（打印头图像测试页）、Memory（打印内在参数测试页）、Factory（打印工厂参数测试页）。最常用的是Factory（打印工厂参数测试页...
从上述技术方案可以看出,本发明提供的变温平台及dlts测试系统具有以下有益效果: (1)本发明实施例中的变温平台包括加热板18,在对测试样品进行测试的过程中,直接将测试样品放置在加热板18的上表面,在测试样品和加热板18之间并未设置隔层,所以,避免由于现有变温平台的加热板和测试样品之间设置有隔层而导致的不能有效的...