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本发明公开了一种DLTS结合DLOS确定GaN辐照缺陷能级的方法及装置.在DLTS测试系统上添加光学系统,成为DLTS与DLOS耦合的测试系统,可以同时改变待测样品所处环境的温度和光子能量条件,分别获得不同测试条件下的待测样品的电容值,根据电容值变化分析判断辐照缺陷能级,使得在确定GaN辐照缺陷能级上不受温度的影响,大幅缩短测试...
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图1a示出复用dlts和hscv测量系统。 图1b示出复用dlts和hscv测量系统的示例流程图。 图1c示出dlts测量系统中施加到dut的电压的示例。 图2示出hscv测量系统中施加到dut的电压的示例。 图3示出复用dlts和hscv测量系统中施加到dut的电压的示例。 图4示出响应于hscv测量的dut中的变化的另外示例。
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